產品描述
不銹鋼Mini系列專為超高純度氣體設計，雙層PTFE膜，過濾精度可達0.003μm。內部采用全氟內芯，具有優(yōu)秀的化學兼容性，使用各類半導體制程氣體。
產品特點
- 316L電解拋光殼體，全氟內芯，高潔凈，低析出；
- 100%完整性及氦檢泄露檢測
工作特性
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材質 |
濾膜 |
疏水PTFE |
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中心桿 |
PFA |
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密封圈 |
全氟醚 |
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殼體 |
電拋光316L或316L VAR |
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內表面處理 |
粗糙度 |
≤0.13μm |
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表面化學 |
316殼體：Cr Fe>1 |
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316VAR殼體：Cr Fe>1.5 |
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過濾精度 |
≥0.003μm |
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顆粒攔截效率 |
>99.9999999(9LRV)@30slpm |
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推薦工作流量 |
0-60slpm |
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接口形式 |
1/4 VCR，1/4 SWG |
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氦氣泄漏檢驗 |
設計驗證 |
2×10-11atm.cm3 /sec |
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過程驗證 |
1×10-9atm.cm3 /sec |
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操作條件 |
最高工作壓力 |
20.7MPa@121℃ |
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最高工作正向壓差 |
0.4MPa@23℃ |
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最高工作反向壓差 |
0.07MPa@23℃ |
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最高工作溫度 |
120℃ |
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下游潔凈度 |
顆粒物 |
＜0.03ea/L（＞0.01μm的顆粒物） |
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揮發(fā)物 |
＜10ppb |
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結構示意圖
流量性能
訂購信息
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產品 |
骨架 |
精度 |
外徑 |
接口 |
長度 |
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類型 |
進口 |
出口 |
尺寸 |
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CRGI |
F=PFA |
3=3nm 10=10nm |
I=19.05 |
S=SWG V=VCR |
M=Male F=Female |
M=Male F=Female |
4=1/4 6=3/8 8=1/2 |
74=74 85=85 90=90 100=100 |