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產(chǎn)品描述
邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過濾打造。
優(yōu)良的濾芯設(shè)計，確保在使用時壓降低的同時兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對工藝造成污染的成分，同時在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。
產(chǎn)品特點
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優(yōu)秀的流量和更長使用壽命
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優(yōu)秀的化學(xué)和溫度耐受性能
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全氟結(jié)構(gòu)和極低的溶出性能
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便捷的預(yù)濕選項
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100%濾芯完整性檢測
工作特性
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材料 |
濾膜 |
PTFE |
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支撐層，外殼 |
PFA |
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筒式密封圈 |
TEV/FFKM |
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一體式外殼 |
PFA |
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精度 |
10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm |
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膜面積 |
SX (φ68mm) 0.91㎡/10” SY (φ68mm) 1.2㎡/10” MX (φ83mm) 1.8㎡/10” MY (φ83mm) 2.2㎡/10” MZ (φ83mm) 2.8㎡/10” |
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筒式濾芯最大使用條件 |
最大正向壓差 |
0.5MPa (72psi)@ 25℃ (77℉) 0.2MPa (29psi)@ 100℃ (212℉) 0.05MPa (7.25psi)@ 200℃ (356℉) |
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最大反向壓差 |
0.35MPa (50psi)@ 25℃ (77℉) |
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最高使用溫度 |
200 ℃ (356 °F)1 |
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囊式濾芯最高使用條件 |
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Small In-Line X Type |
T Type S 300 dispoable |
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最大正向壓差 |
0.4MPa (58psi)@ 25℃ |
0.5MPa (72psi)@ 25℃ |
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最高使用溫度 |
100 ℃ (212 °F) |
200 ℃ (356 °F)1 |
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包裝方式 |
干包裝；超純水預(yù)潤濕包裝 |
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筒式尺寸
流量-壓差曲線
訂購信息
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WFC |
精度 |
直徑 |
端蓋 |
長度 |
密封圈 |
金屬潔凈度 |
包裝方式 |
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E (10nm) A (20nm) C (30nm) G (50nm) B (0.1μm) J（0.2μm） |
SX (φ68mm, 0.91㎡) SY (φ68mm, 1.2㎡) MF (φ83mm, 1.3㎡) MX (φ83mm, 1.8㎡) MY (φ83mm, 2.2㎡) MZ (φ83mm, 2.8㎡) |
N (222 Flat) K (222 Flat with Lock-key) KP (222 High Flat with Lock-Key) |
04 (4”) 10 (10”) 20 (20”) |
T (TEV) K (FFKM) |
U（＜3ug/device） Q（＜10ug/device） R（＜25ug/device） C（＜40ug/device） E（電子級） |
D (干包裝) W（超純水預(yù)潤濕包裝） |
囊式尺寸
流量-壓差曲線
訂購信息
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WFD |
精度 |
直徑 |
長度 |
適配配置 |
金屬潔凈度 |
包裝方式 |
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E (10nm) A (20nm) C (30nm) G (50nm) B (0.1μm) J（0.2μm） |
SX (φ68mm, 0.91㎡) SY (φ68mm, 1.2㎡) MX (φ83mm, 1.8㎡) MY (φ83mm, 2.2㎡) MZ (φ83mm, 2.8㎡) |
02 (2”) 04 (4”) 10 (10”) |
TS64 XF32 |
U（＜3ug/device） Q（＜10ug/device） R（＜25ug/device） C（＜40ug/device） E（電子級） |
D (干包裝) W（超純水預(yù)潤濕包裝） |
