CMP終端用囊式濾芯

PoliCap-Plus終端(POU) slurry過濾囊式濾芯

邁博瑞PoliCap-Plus系列是專為先進(jìn)的CMP應(yīng)用設(shè)計(jì)的囊式濾芯，尤其適用于含膠體SiO2、CeO2和超細(xì)Al2O3 研磨劑的CMP slurry。結(jié)構(gòu)上來說，便捷的拋棄式設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)快速安裝，盡可能地減少slurry暴露和浪費(fèi)。PoliCap-Plus系列囊式濾芯可配合多種不同接口使用，滿足不同應(yīng)用需求。

產(chǎn)品描述

邁博瑞PoliCap-Plus系列是專為先進(jìn)的CMP應(yīng)用設(shè)計(jì)的囊式濾芯，尤其適用于含膠體SiO2、CeO2和超細(xì)Al2O3 研磨劑的CMP slurry。結(jié)構(gòu)上來說，便捷的拋棄式設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)快速安裝，盡可能地減少slurry暴露和浪費(fèi)。PoliCap-Plus系列囊式濾芯可配合多種不同接口使用，滿足不同應(yīng)用需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 純PP材質(zhì)，降低成本
  • 拋棄式設(shè)計(jì)，方便更換并減少slurry暴露
  • 低滯留體積，減少slurry浪費(fèi)并防止其沉積
  • 提供多種接口選擇
  • 低壓損和優(yōu)秀的顆粒去除效率
  • 高納污量，較長的使用壽命

工作特性

 

材料

過濾層/支撐層

聚丙烯

外殼/中心桿/端蓋

聚丙烯

 

密封圈

三元乙丙橡膠

精度

0.05μm, 0.07μm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm

接口形式

進(jìn)出口

3/8" Flaretek1， Easy-touch

排氣/排液口

/

尺寸規(guī)格

外徑

93mm

濾芯直徑

68mm

長度

5inch

最大使用條件

最大使用壓力

0.34 MPa (50 psi) @ 25 ?C (77 ?F)

最高使用溫度

80 ?C (176?F)

產(chǎn)品尺寸

CMP終端用囊式濾芯

流量-壓差曲線

CMP終端用囊式濾芯

訂購信息

PCP

濾芯類型

精度

直徑

接頭

長度

潔凈度

包裝

D (深層濾芯)

P (折疊濾芯)

010 (0.1μm)

030 (0.3μm)

050 (0.5μm)

100 (1.0μm)

300 (3.0μm)

500 (5.0μm)

S(直徑=69mm)

F32 (I/O: 3/8”Flaretek ; V/D: 1/4” Flaretek)

E0 (easy-touch, no V/D)

05 (5”)

E (電子級)

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤濕包裝)
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